論文
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基本情報
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| 氏名 | 菊地 宏樹 |
| 氏名（カナ） | キクチ ヒロキ |
| 氏名（英語） | Kikuchi Hiroki |
| 所属 | 大学 国際政治経済学部 国際経営学科 |
| 職名 | 准教授 |
| researchmap研究者コード | |
| researchmap機関 |
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Rayleigh criterion: The paradigm of photolithography equipment.
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共著
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共著者：高橋伸夫
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担当部分：共同研究につき本人担当部分抽出不可能。 半導体露光装置の開発において、Rayleigh Criterionがパラダイムとして機能し、これに則り微細化が進められてきたことを明らかにした。
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Annals of Business Administrative Science
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16
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2017/07
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研究論文（学術雑誌）
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